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無水四氟化鋯的制備方法主要有氟鋯酸銨分解法、二氧化鋯、氟氫酸銨焙燒法和水合四氟化鋯脫水法等。氟鋯酸銨分解法以ZrOCl2·8H20為原料，加氨水使之轉變為ZrO2·ηΗ20，接著用HF將水合氧化鋯轉變為H2ZrF6，再加入氨水，使H2ZrF
