氮化鎵作為一種與Ⅲ-Ⅴ化合物半導體材料,因與鍺半導體互為等電子體,卻擁有不同的結構與帶隙,就引起了科學界對探索其特性的廣泛興趣。氟化銦氮化鎵材料擁有良好的電學特性,相對于硅、砷化鎵、鍺甚至碳化硅器件,氮化鎵器件可以在更高頻率、更高功率、更高溫度的情況下工作,因而被認為是研究短波長光電子器件以及高溫高頻大功率器件的最優選材料。高純氟化銦粉末其也因此被業界看做是第三代半導體材料的代表。
對于蒸發鍍膜:一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。氟化銦厚度均勻性主要取決于:1、基片材料與靶材的晶格匹配程度;2、基片表面溫度;3、蒸發功率,速率;4、真空度;5、鍍膜時間,厚度大小。組分均勻性:蒸發鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單組分鍍膜,蒸發鍍膜的組分均勻性不好。朝陽氟化銦晶向均勻性:1、晶格匹配度;2、基片溫度;3、蒸發速率
鎵是一種低熔點高沸點的稀散金屬,有“電子工業脊梁”的美譽。氟化銦鎵的化合物是優質的半導體材料,被廣泛應用到光電子工業和微波通信工業,用于制造微波通訊與微波集成、紅外光學與紅外探測器件、集成電路、發光二極管等。氟化銦粉末例如我們在電腦上看到的紅光和綠光就是由磷化鎵二極管發出的。目前,半導體行業金屬鎵消費量約占總消費量的80%—85%。
對于不同的濺射材料和基片,參數需要實驗確定,是各不相同的。高純氟化銦粉末鍍膜設備的好壞主要在于能否精確控溫,能否保證好的真空度,能否保證好的真空腔清潔度。氟化銦MBE分子束外沿鍍膜技術,已經比較好的解決了如上所屬的問題,但是基本用于實驗研究,工業生產上比較常用的體式鍍膜機主要以離子蒸發鍍膜和磁控濺射鍍膜為主。