SiC和GaN相比,β-Ga2O3有望以低成本制造出高耐壓且低損失的功率半導體元件,因而引起了極大關注。氟化銦我們一直在致力于利用氧化鎵(Ga2O3)的功率半導體元件(以下簡稱功率元件)的研發(fā)。Ga2O3與作為新一代功率半導體材料推進開發(fā)的SiC和GaN相比,有望以低成本制造出高耐壓且低損失的功率元件。錫林郭勒盟氟化銦粉末其原因在于材料特性出色,比如帶隙比SiC及GaN大,而且還可利用能夠高品質(zhì)且低成本制造單結(jié)晶的“溶液生長法”。
對于蒸發(fā)鍍膜:一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。氟化銦厚度均勻性主要取決于:1、基片材料與靶材的晶格匹配程度;2、基片表面溫度;3、蒸發(fā)功率,速率;4、真空度;5、鍍膜時間,厚度大小。組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。錫林郭勒盟氟化銦晶向均勻性:1、晶格匹配度;2、基片溫度;3、蒸發(fā)速率
氧化鍺,具有半導體性質(zhì)。對固體物理和固體電子學的發(fā)展超過重要作用。氟化銦鍺的熔密度5.32克/厘米3,鍺可能性劃歸稀散金屬,鍺化學性質(zhì)穩(wěn)定,常溫下不與空氣或水蒸汽作用,但在600~700℃時,很快生成二氧化鍺。與鹽酸、稀硫酸不起作用。濃硫酸在加熱時,鍺會緩慢溶解。在硝酸、王水中,鍺易溶解。堿溶液與鍺的作用很弱,但熔融的堿在空氣中,能使鍺迅速溶解。錫林郭勒盟氟化銦鍺與碳不起作用,所以在石墨坩堝中熔化,不會被碳所污染。鍺有著良好的半導體性質(zhì),如電子遷移率、空穴遷移率等等。
用純Sc2O3≥ 99.9%加入于釓鎵石榴石(GGG)可制成釓鎵鈧石榴石(GGSG),其構(gòu)成為Gd3Sc2Ga3O12型式。氟化銦由它做成的第三代激光器所發(fā)出的發(fā)射功率比同體積的激光器提高3.0倍,已達到了大功率化和小型化的激光裝置,提高了激光振蕩輸出功率,改進了激光器的使用性能。在制備單晶時,每爐料3kg~ 5kg,加入Sc2O3≥ 99.9%原料為1.0kg左右。氟化銦粉末目前這種激光器在軍工技術上的應用日益廣泛,也逐步推向民用工業(yè)。從發(fā)展看,今后在軍用和民用的潛力較大。
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