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氧化鎵
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蘇州高純氮化鎵粉末

2022-02-08
蘇州高純氮化鎵粉末

氧化鎵的導(dǎo)熱性能較差,但其禁帶寬度(4.9eV)超過(guò)碳化硅(約3.4eV),氮化鎵(約3.3eV)和硅(1.1eV)的。氮化鎵由于禁帶寬度可衡量使電子進(jìn)入導(dǎo)通狀態(tài)所需的能量。采用寬禁帶材料制成的系統(tǒng)可以比由禁帶較窄材料組成的系統(tǒng)更薄、更輕,并且能應(yīng)對(duì)更高的功率,有望以低成本制造出高耐壓且低損失的功率元件。高純氮化鎵粉末寬禁帶允許在更高的溫度下操作,從而減少對(duì)龐大的冷卻系統(tǒng)的需求。

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二氧化鍺為四方晶系、六方晶系或無(wú)定形體。氮化鎵六方結(jié)晶與β-石英同構(gòu),鍺為四配位,四方結(jié)晶具有超石英型結(jié)構(gòu),類(lèi)似于金紅石,其中鍺為六配位。高壓下,無(wú)定形二氧化鍺轉(zhuǎn)變?yōu)榱湮唤Y(jié)構(gòu);隨著壓力降低,二氧化鍺也逐漸變?yōu)樗呐湮坏慕Y(jié)構(gòu)。類(lèi)金紅石型結(jié)構(gòu)的二氧化鍺在高壓下可轉(zhuǎn)變?yōu)榱硪环N正交晶系氯化鈣型結(jié)構(gòu)。高純氮化鎵二氧化鍺不溶于水和鹽酸,溶于堿液生成鍺酸鹽。 類(lèi)金紅石型結(jié)構(gòu)的二氧化鍺比六方二氧化鍺更易溶于水,它與水作用時(shí)可產(chǎn)生鍺酸。二氧化鍺與鍺粉在1000°C共熱時(shí),可得到一氧化鍺。

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氧化銦的合成方法有哪些?將高純金屬銦在空氣中燃燒或?qū)⑻妓徙熿褵蒊n2O、InO、In2O3,精細(xì)控制還原條件可制得高純In2O3。高純氮化鎵粉末也可用噴霧燃燒工藝制得平均粒徑為20nm的三氧化二銦陶瓷粉。將氫氧化銦灼燒制備三氧化二銦時(shí),溫度過(guò)高的話(huà),In2O3有熱分解的可能性,若溫度過(guò)低則難以完全脫水,而且生成的氧化物具有吸濕性,因此,加熱溫度和時(shí)間是重要的因素。另外,因?yàn)镮n2O3容易被還原,所以必須經(jīng)常保持在氧化氣氛中。氮化鎵將氫氧化銦在空氣中,于850℃灼燒至恒重,生成In2O3,再在空氣中于1000℃加熱30min。其他硝酸銦、碳酸銦、硫酸銦在空氣中灼燒也可以制得三氧化二銦。

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對(duì)于濺射類(lèi)鍍膜:可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái),并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過(guò)程,終形成薄膜。氮化鎵濺射鍍膜又分為很多種,總體看,與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數(shù)之。蘇州氮化鎵濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對(duì)較差(因?yàn)槭敲}沖濺射),晶向(外沿)生長(zhǎng)的控制也比較般。以pld為例,因素主要有:靶材與基片的晶格匹配程度、鍍膜氛圍(低壓氣體氛圍)、基片溫度、激光器功率、脈沖頻率、濺射時(shí)間。

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