對于不同的濺射材料和基片,參數(shù)需要實驗確定,是各不相同的。高純銦粉價格鍍膜設(shè)備的好壞主要在于能否精確控溫,能否保證好的真空度,能否保證好的真空腔清潔度。銦粉MBE分子束外沿鍍膜技術(shù),已經(jīng)比較好的解決了如上所屬的問題,但是基本用于實驗研究,工業(yè)生產(chǎn)上比較常用的體式鍍膜機主要以離子蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜為主。
氧化鍺,具有半導(dǎo)體性質(zhì)。對固體物理和固體電子學(xué)的發(fā)展超過重要作用。銦粉鍺的熔密度5.32克/厘米3,鍺可能性劃歸稀散金屬,鍺化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,常溫下不與空氣或水蒸汽作用,但在600~700℃時,很快生成二氧化鍺。與鹽酸、稀硫酸不起作用。濃硫酸在加熱時,鍺會緩慢溶解。在硝酸、王水中,鍺易溶解。堿溶液與鍺的作用很弱,但熔融的堿在空氣中,能使鍺迅速溶解。鶴崗銦粉鍺與碳不起作用,所以在石墨坩堝中熔化,不會被碳所污染。鍺有著良好的半導(dǎo)體性質(zhì),如電子遷移率、空穴遷移率等等。
氧化鎵的導(dǎo)熱性能較差,但其禁帶寬度(4.9eV)超過碳化硅(約3.4eV),氮化鎵(約3.3eV)和硅(1.1eV)的。銦粉由于禁帶寬度可衡量使電子進入導(dǎo)通狀態(tài)所需的能量。采用寬禁帶材料制成的系統(tǒng)可以比由禁帶較窄材料組成的系統(tǒng)更薄、更輕,并且能應(yīng)對更高的功率,有望以低成本制造出高耐壓且低損失的功率元件。高純銦粉價格寬禁帶允許在更高的溫度下操作,從而減少對龐大的冷卻系統(tǒng)的需求。
鈧在合金中主要起著變質(zhì)和細(xì)化晶粒的作用,使生成新相的Al3Sc型而呈現(xiàn)了性能優(yōu)異的特色。銦粉Al-Sc合金已形成了系列的合金系列,如俄羅斯已達到17種Al-Sc系列,我國也有幾種合金(如Al-Mg-Sc-Zr及Al-Zn-Mg-Sc合金)。這類合金的特性其它材料無法代替,故從發(fā)展上看,其應(yīng)用發(fā)展及潛力是很大的,可望成為今后的應(yīng)用大戶。鶴崗銦粉如俄羅斯已工業(yè)化生產(chǎn),且用于輕型結(jié)構(gòu)件發(fā)展較快,我國也正在加快研制和應(yīng)用,特別是在宇航和航空方面前景最好。
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