氮化鎵作為一種與Ⅲ-Ⅴ化合物半導體材料,因與鍺半導體互為等電子體,卻擁有不同的結構與帶隙,就引起了科學界對探索其特性的廣泛興趣。硫酸鎵氮化鎵材料擁有良好的電學特性,相對于硅、砷化鎵、鍺甚至碳化硅器件,氮化鎵器件可以在更高頻率、更高功率、更高溫度的情況下工作,因而被認為是研究短波長光電子器件以及高溫高頻大功率器件的最優(yōu)選材料。高純硫酸鎵粉末其也因此被業(yè)界看做是第三代半導體材料的代表。
金屬之間有生成合金的趨向。合金便是不同金屬間的互溶現(xiàn)象。硫酸鎵一般金屬間構成合金需求很高的溫度。但有些金屬間并非需求高溫,例如水 銀在常溫下就能夠與多種金屬構成合金。鎵也有這種功用,由于家的熔點很低,在30攝氏度就成為了液態(tài),這種液態(tài)的鎵就能夠與其他金屬生成合金,也便是對其他金屬有溶解的效果,對其他金屬形成腐蝕。硫酸鎵粉末所以鎵不能裝在金屬容器中。
氧化鎵的導熱性能較差,但其禁帶寬度(4.9eV)超過碳化硅(約3.4eV),氮化鎵(約3.3eV)和硅(1.1eV)的。硫酸鎵由于禁帶寬度可衡量使電子進入導通狀態(tài)所需的能量。采用寬禁帶材料制成的系統(tǒng)可以比由禁帶較窄材料組成的系統(tǒng)更薄、更輕,并且能應對更高的功率,有望以低成本制造出高耐壓且低損失的功率元件。高純硫酸鎵粉末寬禁帶允許在更高的溫度下操作,從而減少對龐大的冷卻系統(tǒng)的需求。
對于不同的濺射材料和基片,參數(shù)需要實驗確定,是各不相同的。高純硫酸鎵粉末鍍膜設備的好壞主要在于能否精確控溫,能否保證好的真空度,能否保證好的真空腔清潔度。硫酸鎵MBE分子束外沿鍍膜技術,已經比較好的解決了如上所屬的問題,但是基本用于實驗研究,工業(yè)生產上比較常用的體式鍍膜機主要以離子蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜為主。